先进封装设备之争,12家本土核心企业进展如何?
发布时间:2026-02-13 浏览次数:0

2026年初,全球半导体产业链迎来历史性拐点——在AI算力与大模型需求的持续驱动下,HBM、DRAM等高性能存储芯片供不应求,价格飙升超70%。


当先进制程的单位晶体管成本下降趋缓,单纯依赖微缩已经很难继续支撑算力需求的指数级增长,AI 芯片选择了一条更现实、也更激进的路径——把复杂度搬到封装层。2.5D/3D、Chiplet、HBM、混合键合,看似是封装技术升级,本质上却是在重构整个制造流程。


产业正在从“制程节点之争”,悄然转向“封装工艺之争”,而封装工艺的尽头,几乎全部指向设备。


来源:华金证券


在这个过程中,一个容易被忽略却至关重要的事实是:先进封装并不是“后道变复杂”,而是“前道工艺后移”。刻蚀、薄膜沉积、电镀、CMP、光刻、检测,这些原本属于晶圆厂核心能力的设备,正以前所未有的密度进入封装环节。



01
先进封装设备,必争之地


AI/HPC 正在把半导体产业的“增量重心”从单纯先进制程,系统性地推向先进封装,而先进封装技术的快速迭代,正在直接拉动前道工艺设备的长期结构性需求增长。Yole Group 在报告中指出,2025 年后端设备总收入约70 亿美元,预计到 2030 年将超过90亿美元,年复合增长率接近 6%


先进封装设备的竞争本质是创新、产能与技术主权的较量。在这场竞争浪潮中,设备巨头正密集布局。全球四大半导体设备厂商阿斯麦应用材料、东京电子、泛林半导体均已正式切入高端先进封装领域。


阿斯麦于2025年推出首款聚焦封装领域的曝光设备,该系统可对芯片与基板间的电互连结构进行图形化处理,精准适配混合键合及高带宽内存(HBM)封装场景。这标志着阿斯麦正式进军此前由佳能垄断的封装光刻市场。

应用材料依托其在化学机械抛光(CMP)领域的技术优势,在混合键合设备市场确立领先地位。公司于2023年收购面板级封装企业Tango Systems,并在2024年11月于新加坡开设先进封装合作中心,强化技术协同与本地化服务能力。


泛林半导体将其刻蚀与沉积技术适配先进封装需求,推出多款专用设备:包括在晶圆背面沉积保护膜以减少芯片堆叠时翘曲的系统,以及用于清除堆叠芯片残留的封装专用刻蚀机,针对性解决封装制程中的核心工艺难题。


东京电子则聚焦重布线层(RDL)工艺,计划2025年10月在日本九州工厂新建先进封装设备研发基地,配备晶圆键合设备,以支撑日本本土晶圆代工项目及全球封装客户的技术需求。


事实上,先进封装设备行业正凸显技术协同的核心竞争力,各厂商需整合光刻、刻蚀、键合、抛光等跨领域技术,才能适配混合键合、3D堆叠、玻璃中介层等多元技术路径,应用材料、泛林半导体的技术整合优势也因此进一步凸显。



02
内外承压,国产设备进展如何?


设备巨头的强势入局,无疑为火热的先进封装赛道再添一把火,也进一步加剧了高端市场的竞争烈度。可以说,一场围绕先进封装设备的全新竞赛正拉开序幕。本土设备厂商正身处内外承压的复杂环境。

当前国内供应商仅能满足不到14%的本土后道设备需求,核心设备依赖进口的现状尤为突出。在商业选择上,国内封测厂更倾向于成熟可靠的海外设备,给国产设备的验证与迭代带来障碍。同时,地缘政治的不确定性更添隐忧,海外并购之路因外部环境受阻,自主研发则面临专利壁垒与技术代差,生态体系成熟或需等到2030年之后。


但机遇同样鲜明,本土厂商也正在迎来多重发展机遇。一方面,政策与资本的双重赋能形成了强大支撑,大基金向设备环节倾斜,叠加先进工艺产线补贴政策,为研发投入提供了底气;另一方面,市场需求的爆发更成为突围的核心动力,国内头部封装厂加速2.5D/3D布局,AI芯片与HBM带来的先进封装需求井喷,催生了设备采购热潮。


随着政策、资金与生态重点倾斜设备环节,国产AI芯片与封测厂的扩产需求形成强大内需支撑,国产替代已从单点突破迈向系统崛起,北方华创、中微公司、上海微电子、盛美等头部企业在刻蚀、薄膜沉积、光刻、电镀、清洗、键合等领域形成产品矩阵,核心部件国产化率显著提升,2025年国内后道封测设备国产化率有望突破20%。


北方华创多设备应用先进封装领域


公司是国内产品线最全的半导体设备平台型巨头,覆盖刻蚀、薄膜沉积、热处理、清洗等几乎全部前道工艺,并在先进封装全流程有布局。深度绑定国内所有主流晶圆制造厂,是芯片制造产线建设中最主要的国产设备供应商之一。通过收购芯源微,补强了涂胶显影、清洗及键合设备,平台能力进一步增强。公司于2025年正式进军离子注入设备市场。


2025年前三季度实现营收273亿元,同比增长33%;归母净利润51亿元,同比增长15%。截至三季度末,存货达302亿元,显示公司在手订单充足。再看产品线:2025H1刻蚀收入超50亿元、薄膜沉积超65亿元、热处理超10亿元,合计收入超125亿元。


北方华创是半导体设备领域的“国家队”和压舱石。其最全面的产品线意味着能为下游客户提供一站式解决方案,在供应链自主可控的进程中具备不可替代的战略地位。


中微公司:刻蚀核心向平台延伸


中微公司主营高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售,核心产品包括刻蚀设备、薄膜沉积设备和MOCVD设备。


公司在保持CCP刻蚀全球领先地位的同时,大力拓展ICP刻蚀和薄膜沉积(LPCVD/ALD)设备,平台化布局日趋完善。其刻蚀设备是先进逻辑、存储及先进封装(如TSV) 工艺中的关键设备。与长电科技、华天科技合作,逻辑与存储客户批量订单验证中。公司计划通过有机生长和外延并购,在未来五到十年覆盖50%-60%的集成电路高端设备市场。


近日,中微公司发布2025年度业绩预告,以营收、净利双位数高增的亮眼表现引爆市场。公司预计全年营收123.85亿元,同比增长36.62%,归母净利润最高可达21.80亿元,同比增幅近35%。其中,刻蚀设备作为核心业务实现98.32亿元销售额,累计出货量突破6800台,而LPCVD、ALD等薄膜设备更以224.23%的同比增速,展现出第二增长曲线的强劲势能。


在半导体设备国产替代的关键期,这份成绩单无疑彰显了中微公司在高端制造领域的硬核实力。中微公司已成功从刻蚀专家转型为平台型半导体设备巨头。其在最先进制程的突破和薄膜沉积领域的快速放量,技术护城河极深,长期增长路径明确。


盛美上海:国产清洗和电镀设备龙头


盛美上海从事集成电路制造与先进晶圆级封装设备的研发、生产和销售,产品包括湿法清洗设备、电镀设备等。作为国产清洗和电镀设备龙头,客户面向全球半导体制造厂。公司目标是在清洗和电镀设备领域取得50%-60%的市场份额。


在面板级封装领域,目前公司重点推出的面板级先进封装的新设备包括UltraECP ap-p面板级电镀设备、Ultra C vac-p面板级负压清洗设备和 Ultra C bev-p 面板级边缘刻蚀设备等三款新产品。


据业绩预告显示,预计2025年度实现营业收入66.8-68.8亿元,较上年同期增长18.91%–22.47%,综合近年来的业务发展趋势,以及目前的订单等多方面情况,预计2026年全年的营业收入82-88亿元。


盛美上海表示,2025年度粗略估计公司先进封装(不含电镀)设备产品收入占总营收的比例接近10%,电镀设备约占总营收的比例超过20%。先进封装设备市场具有广阔市场发展前景,目前整体行业发展趋势向好,在中国市场的成长潜力较大,公司期待先进封装设备成为2026年业绩增长的一个关键业务板块。


从这份公告看,盛美上海过去一年算是稳扎稳打,而给今年定下的目标则显得更有进取心。盛美上海凭借持续的差异化创新能力,正从单一产品龙头向平台化公司跨越。其电镀和清洗设备是先进封装产线的必需设备,将深度受益于工艺升级和国产化替代。


芯源微:涂胶显影细分冠军


芯源微是国内光刻工序涂胶显影设备的龙头企业。专注涂胶显影与单片清洗设备研发生产,覆盖前道晶圆制造、后道先进封装及化合物半导体领域,是国内唯一量产前道涂胶显影机厂商,依托北方华创控股协同,加速国产替代与全球拓展,成为半导体设备国产化核心力量。


前道涂胶显影设备为核心产品,占营收59.86%,是光刻工艺关键设备,适配28nm及以上工艺,打破东京电子垄断,获中芯国际、长江存储等批量订单。前道清洗设备占比36.76%,包括高温SPM清洗机等,工艺覆盖率超80%,成为第二增长曲线。后道先进封装设备市占率超50%,临时键合/解键合机达国际先进水平,获台积电等海外客户订单。


根据业绩预告,预计2025年年度实现营业收入为17.6亿至20.0亿元,同比增0.36%至14.05%。据悉,其产品已进入国内多家头部晶圆制造厂及先进封装产线。芯源微是成功打破国外垄断的“隐形冠军”。作为光刻环节的关键配套设备商,其价值随着工艺复杂度的提升而愈发凸显。


拓荆科技:薄膜沉积与键合双轮驱动


公司是国内薄膜沉积(PECVD、ALD、SACVD)设备龙头,基于新平台的先进制程机台已通过客户验证,进入规模化量产阶段。在先进封装领域,其混合键合设备已获得重复订单,并推出了永久键合后晶圆激光剥离等新产品。


2025年前三季度营业收入42.2亿元,同比增长85.27%;归母净利润5.57亿元,同比增长105.14%。2025年三季度营业收入和净利润实现大幅反弹,主要原因是公司先进制程的验证机台进入规模化量产阶段。


其薄膜沉积设备已广泛应用于国内主要存储芯片和逻辑芯片制造厂商的生产线,键合设备正切入先进封装产线。拓荆科技在薄膜沉积主赛道地位稳固,同时其混合键合设备的突破,使其成为后摩尔时代3D集成技术(如HBM)的核心设备供应商,第二增长曲线清晰。


芯碁微装:直写光刻技术双轨驱动者


芯碁微装是全球PCB直写光刻(LDI)设备龙头,市场份额位居全球第一。在先进封装领域,其核心技术是晶圆级直写光刻,相比传统掩膜光刻,在成本、效率和灵活性上优势明显,尤其适配CoWoS-L 等先进封装工艺。


公司WLP系列直写光刻设备已获得重复订单,并已助力多家先进封装头部厂商实现“类CoWoS-L”产品的量产,预计2026年下半年进入量产爬坡阶段,该系列在手订单金额已突破1亿元。


根据业绩预告,2025年公司实现高速增长,归母净利润预计为2.75至2.95亿元,同比增长71%至84%。第四季度归母净利润环比增长显著,增幅达52%。业绩增长主要受高端PCB设备和泛半导体(先进封装)业务双轮驱动。


结芯碁微装成功构建了“PCB基本盘+先进封装新增长极”的双引擎模式。其直写光刻技术路线与CoWoS-L等主流趋势高度契合,随着订单持续兑现和产能释放,泛半导体业务有望进入收获期,成为明确的受益者。


华海清科:平台化扩张的CMP龙头


在先进封装领域,华海清科12英寸晶圆减薄贴膜一体机(兼容W2W和D2W工艺)已实现批量发货。同时,用于芯片堆叠的关键装备如减薄、划切、边缘抛光等设备均已进入国内多家头部客户验证阶段。公司还通过战略投资和新建厂区,布局核心零部件与一站式平台。


2025年公司业绩增长稳健。2025年前三季度实现营收31.94亿元,第三季度单季营收12.44亿元,同比增长30.28%。上半年营收19.5亿元,同比增长30.3%。新签CMP设备订单中,先进制程已占据较大比例。


作为国内CMP设备龙头,其产品在国内多家头部芯片制造客户中已占据较高市场份额,并且减薄等新设备正在加速导入这些客户的产线。华海清科已从单一的CMP设备龙头成功向平台化企业迈进。其减薄、划切等设备与AI及HBM(高带宽内存)所需的芯片堆叠技术高度契合,成长动力明确。


新益昌:国产固晶设备代表


公司是国内固晶机设备龙头,业务聚焦于半导体封装和MiniLED固晶两大领域。通过内生发展和对外投资,公司正积极向半导体焊线、测试包装等封测其他环节设备延伸,完善产品矩阵。

实现半导体先进封装设备量产,产品包括Flip chip固晶机、粗铝丝焊线机K580等,覆盖固晶、焊线、测试分选全流程。与华为在先进封装及高清显示领域深度合作;客户包括长电科技、华天科技、通富微电等头部企业;与国际厂商如英飞凌完成车规级设备验证。


1月28日,新益昌发布2025年度业绩预告,战略转型期承压,2025年预亏1.1亿-1.6亿元。益昌是国产固晶设备的代表企业,短期业绩虽受行业周期波动,但其在核心工艺上的技术积累和头部客户资源,使其在MiniLED爆发和半导体设备国产化进程中,具备长期复苏和增长的潜力。


光力科技:国产高端划片切割机第一品牌


光力科技是全球排名前三的半导体切割划片装备企业,业务以“半导体封测装备+安全生产监控”双轮驱动。在半导体领域,公司的核心策略是通过“海外并购+自主创新”构建了全产业链壁垒,是全球少数能同时量产切割划片机、核心零部件(空气主轴)及耗材(刀片) 的企业,打破了海外巨头的垄断。


目前,公司国产化设备已获得市场广泛认可,自2025年三季度开始,新增订单持续增加,机械划片设备已进入满产状态。为满足需求,公司正在扩建产能,其郑州航空港二期项目预计于2027年一季度投产,届时总产能将达到现有的三倍以上。产品线上,公司正从切割向“切、磨、抛”延伸,其12英寸高精密切割设备、激光开槽机、研磨机等多款新产品已进入客户验证阶段,以覆盖CPO(共封装光学)等更前沿的封装需求。


高端机型已批量进入长电科技、通富微电、台积电、日月光等全球头部封测(OSAT)厂商,客户覆盖全球前十大OSAT厂商中的八家。目前,国内头部封测厂商已形成批量复购,大客户订单约占国内半导体新增订单的一半。


2025年,公司业绩迎来强劲拐点。根据2025年度业绩预告,预计实现归母净利润3300万元至4800万元,成功实现扭亏为盈(上年同期亏损约1.13亿元),同比增长129.18%至142.45%。业绩增长的核心驱动力是国产化机械划切设备在先进封装领域的应用迅速扩大,订单和交货量自三季度起持续加大。此前2025年第三季度报告显示,公司前三季度毛利率已提升至54.90%。


光力科技通过并购整合国际顶级技术并完成国产化创新,公司在半导体后道切割这一关键环节建立了从设备、核心部件到工艺的全链条护城河。随着先进封装对精密切割需求升级以及公司产能大幅扩张,其作为国产划切设备龙头的增长潜力正进入加速释放期。


芯上微装:封装光刻资产的整合平台


上海芯上微装科技股份有限公司该公司成立于2025年2月,是从上海微电子(SMEE) 分拆独立的后道封装光刻设备业务平台。


上海微电子主要从事半导体装备、泛半导体装备以及高端智能装备的设计制造销售。其中光刻设备是公司的主营业务。其SSB500系列步进投影光刻机主要应用于集成电路先进封装领域,包括Flip Chip、Fan-In、Fan-Out WLP/PLP和2.5D/3D等先进封装形式,可满足Bumping、RDL和TSV等制程的晶圆级/方板级光刻工艺需求。  


芯上微装的定位是承接并市场化上海微电子的成熟设备业务,而上海微电子母体则更专注于前道核心及下一代光刻技术研发。近期,芯上微装以约2.29亿元收购了上海微电子旗下的威耀实业,进一步整合资产,被市场解读为其为未来独立市场化运作乃至IPO做准备的重要步骤。


据公司披露,截至2025年8月,已累计交付500台步进光刻机,并于2025年11月将自主研发的首台350nm步进光刻机(AST6200)发往客户现场。产品覆盖多种封装和检测设备。其客户群体应为需要后道光刻、量测等设备的封测厂商及特定器件制造商。


芯上微装是国产光刻巨头资产重组与市场化转型的关键落子。它的独立运作,旨在通过更加灵活、专注的方式,推动国产封装光刻、检测等成熟设备的产业化应用和市场份额提升,是观察国产半导体设备行业格局变化的一个重要窗口。


华封科技:专注先进封装贴片的设备新锐


华封科技是一家聚焦于先进封装贴片设备(尤其是倒装芯片贴片机)的专业供应商。

公司最早于2014年在中国香港创立, 同年在新加坡设立了研发与制造中心,全方位服务全球客户50+, 量产过的终端客户有Qualcomm,AMD, INTEL,Marvell, 意法半导体,SPACEX,特斯拉等国际头部半导体公司。


公司产品全面覆盖 FC(倒装)、WLP(晶圆级封装)、2.5D/3D 封装、SiP 等全线先进封装工艺,凭借全自研的电控和机械系统,实现了超高精度与运动控制的完美结合。其高精度贴片机精度达到 1.5~5um 级别,在与国际同类设备保持同等精度的前提下,速度提升 2-3 倍,有效解决了封测环节良率与效率的核心矛盾。其中,AvantGo 系列产品表现尤为突出,广泛应用于国际头部企业的 5G 芯片生产线及人工智能芯片生产线。


2025年11月,华封科技与上市公司亿道信息等合作伙伴共同投资建设“亿封智芯先进封装项目”。将聚焦2.5D和3D先进封装技术打造一条中试线,同时布局一条板级先进封装研发中试线,将为鸿蒙生态下的终端设备、物联网等场景提供定制化封装解决方案。据悉,“亿封智芯”项目一期计划投资5亿元,产线预计最快在2026年底投产。


在该项目中,华封科技的角色是提供完整的先进封装产线交付以及先进封装技术支持。这表明其业务模式已从单一设备销售,向提供产线级解决方案的能力延伸。


华封科技代表了国内在先进封装核心单点设备上实现突破并快速产业化的企业类型。通过与下游客户深度合作、共建产线的创新模式,不仅锁定了订单,更在实战中持续打磨和验证技术,有望在AI芯片封装需求的浪潮中快速成长。


先导基电:离子注入国产化的入局者


先导基电通过子公司凯世通重点布局离子注入机,产品覆盖先进逻辑、存储及先进封装等前沿领域。产品包括低能大束流、超低温离子注入机,累计交付超40台。


2025年交付8台12英寸离子注入机,低能大束流设备填补国内空白。目前正与相关封测企业合作,推进设备在先进封装领域的验证与应用。2025年前三季度,先导基电实现营业收入10.69亿元,同比增长247.43%,展现出了强劲的增长势头。

先导基电是离子注入设备国产化的重要入局者。若能成功切入先进封装等新兴需求领域,将为其打开巨大的成长空间,但当前关键在于技术验证突破和订单的实质性获取。



03
从“点状突破”到“集群协同”


在AI算力爆发催生的HBM/CoWoS等先进封装需求激增,与全球半导体供应链国产化的双重历史机遇共振下,这些企业正共同处于跨越式发展的黄金窗口期。整体来看,这12家企业在先进封装设备领域已构建起层次分明、自主可控的国产阵营。


其发展清晰呈现两大路径:一是以中微公司、北方华创、拓荆科技为代表的平台型巨头,凭借在前道制造积累的深厚技术,向封装领域强势渗透,提供体系化解决方案;二是以华海清科、芯源微、光力科技、芯碁微装等为代表的细分领域专家,在CMP、测试、涂胶显影、划切、直写光刻等特定核心环节实现深度突破,成为产业链上的关键支柱。


这些企业之间并非简单并列,而是形成了技术共用、市场协同、供应链互补的网状生态。例如,一家晶圆厂在规划先进封装产线时,很可能同时采购北方华创的刻蚀、拓荆的沉积、华海清科的抛光、光力科技的划切,这种“国产化组合拳”在未来将成为新常态。


尽管当前本土厂商仍面临市场份额不足、技术积累薄弱的挑战,但在需求驱动、政策扶持与自主创新的合力下,其正从产业追随者向重要参与者转型。这场突围战不仅关乎企业生存,更决定着中国半导体产业链的安全底色,而危局中的每一步突破,都在为产业自主可控筑牢根基。未来的发展重点,将从“能否做出”转向 “能否领先”、“能否定义” 。


来源:Flink未来产链